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濕法涂布用IM(INDEX MARGIN)層消影液,消除ITO刻蝕線條視覺(jué)差

發(fā)布時(shí)間:

2024-08-16


ITO是氧化銦錫,一種顯示行業(yè)比較常見(jiàn)的透明導(dǎo)電材料,可以做的PET光學(xué)膜上,做成ITO透明導(dǎo)電膜,也可以做在玻璃上,做成ITO感應(yīng)玻璃或者顯示液晶玻璃上。

1、ITO結(jié)構(gòu)

ITO可用于膜材和玻璃,常見(jiàn)結(jié)構(gòu)如下:

        

                                                          ITO膜結(jié)構(gòu)                                                                                                                      ITO玻璃結(jié)構(gòu)

         ITO層是主要的功能層,鍍層有很多種生產(chǎn)工藝,光電行業(yè)常使用磁控濺鍍的工藝,鍍膜一般是鍍多層,一層是幾千個(gè)埃,市場(chǎng)上ITO層厚度是從20到50納米之間。鍍層完后做蝕刻,這時(shí)候IM層(也叫UC層)就起到很好的消影效果。UC層是光學(xué)性能調(diào)節(jié)層,也可以叫消影層,或者也叫IM層,折射率匹配層,還可以做防牛頓環(huán)的鍍層。由于ITO層和PET層或玻璃的折射率不一樣,光線透過(guò)不同折射率的材料,相差越大,反射率越高,這個(gè)會(huì)導(dǎo)致后面ITO蝕刻后,線路的痕跡很明顯,影響屏幕的外觀,所以需要涂布一層折射率匹配層。

         以下圖為例,在ITO面與消影面的光線反射率接近,小于1%,就不會(huì)出現(xiàn)下圖左邊的不良。這個(gè)涂層的精密涂布要求比較高,現(xiàn)在能做的好的多是日本的企業(yè),而很多ITO膜廠,干脆就購(gòu)買IM膜。

 2、IM層組成

        膜系組成:IM(NB2O5/SiO2)+ITO根據(jù)ITO阻值不同,IM層厚度也需要做不同的調(diào)整。目前常用的消影ITO阻值為80~120Ω,ITO膜厚范圍20-27nm,IM層膜厚控制:總膜厚75-78nm,NB2O5 4.8~6nm,SiO2  66~72nm。(說(shuō)明:各層膜厚準(zhǔn)確控制,是消影效果的保證,設(shè)計(jì)膜系厚度NB/6、SiO2/64,配合ITO/24是理想的膜厚)

        IM層常用磁控濺射工藝,通過(guò)鍍氧化鈮、氧化硅來(lái)實(shí)現(xiàn)消影效果,雖然可以實(shí)現(xiàn)更好控制,但是效率不足,成本沒(méi)辦法降低,威亮基于現(xiàn)有平臺(tái)技術(shù),推出IM消影液,采用納米氧化物調(diào)節(jié)折射率,可做到和ITO接近折射率2.0,再通過(guò)精密涂布工藝控制膜厚,實(shí)現(xiàn)輥涂或者卷對(duì)卷做消影膜或消影玻璃,不僅效率高,良率好,還可以進(jìn)一步降低成本,達(dá)到降本增效效果。